ICP-MS全称是电感耦合等离子体质谱仪

主要用途是进行化学元素分析检测，特别是对金属元素分析最擅长，也能分析B、P、As等非金属元素。他和ICP-OES、AAS是化学元素分析的常用的三种仪器，ICP-MS的检测限最低，可以达到PPT（10的负12次方）级

ICP-MS所用电离源是感应耦合等离子体(ICP)，它与原子发射光普仪所用的ICP是一样的，其主体是一个由三层石英套管组成的炬管，炬管上端绕有负载线圈，三层管从里到外分别通载气，辅助气和冷却气，负载线圈由高频电源耦合供电，产生垂直于线圈平面的磁场。如果通过高频装置使氩气电离，则氩离子和电子在电磁场作用下又会与其它氩原子碰撞产生更多的离子和电子，形成涡流。强大的电流产生高温，瞬间使氩气形成温度可达10000k的等离子焰炬。样品由载气带入等离子体焰炬会发生蒸发、分解、激发和电离，辅助气用来维持等离子体，需要量大约为1 L/min。冷却气以切线方向引入外管，产生螺旋形气流，使负载线圈处外管的内壁得到冷却，冷却气流量为10-15 L/min。

ICP-MS通常会使用氩气、氦气、氮气、氢气、空气或氧气等气源，主要还看ICP的使用者所选用的设备型号和检测要求对气源选择有所不同。ICP -MS的用气量比较大，通常24小时开机用气量在3-5瓶之间。设备安装前应做好气源系统的供给，铺设好管路，安装YICHUANG-21气体控制系统，对设备实现不间断供气，减少因气源供给不足而引发的设备报错或故障，致使前期工作浪费。

对气源比较远的客户可以安装远程气源监控系统，时刻监控气体的使用情况，可根据气体使用情况，对气源做适时调整。